扫描探针显微镜的基础知识

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摘要本世纪80年代初,扫描探针显微镜(SPM)对硅表面第一次的实空间成象使整个世界为之震惊,现在扫描探针显微镜已在各行各业获得了广泛的应用,包括表面科学,常规表面粗糙度的分析及表面从原子级到微米级凸起的三维成象。

关键词：扫描探针显微镜表面形貌非接触式测量隧穿电流范德瓦尔斯力样品间距扫描器毛细张力样品表扫描电容显微镜

Abstract：

Key words：

收稿日期: 1996-03-15;

引用本文:

胡晓明. 扫描探针显微镜的基础知识[J]. 现代物理知识, 1997, 9(02): 27-34.

$author.xingMing_EN. [J]. Modern Physics, 1997, 9(02): 27-34.

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