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| 摘要 已提出的各种可能机理有束流引起的化学反应,高电流密度使表面局部区域内原子加热导致的局部原子的蒸发、熔化、再结晶等,有些结构可能是由于污染物或针尖材料在表面上的沉淀而产生的.当样品表面有覆层或处于特定的气体或液体氛围下时,用STM仍可在其上产生各种细微结构,其主要方法可分为两类,其一是电子束光刻,其二是电子束辅助淀积和刻蚀,以下分别进行讨论。 |
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| 关键词： 抗蚀膜
单个原子
淀积物
微细加工
隧道电流
样品间
样品表
聚焦电子束
电子束光刻
底表面
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| Abstract：
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| Key words： |
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收稿日期: 1991-03-12;
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引用本文: |
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王大文,白春礼. STM在微细加工中的应用[J]. 现代物理知识, 1992, 4(02): 10-13.
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$author.xingMing_EN,$author.xingMing_EN. [J]. Modern Physics, 1992, 4(02): 10-13.
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| [1] |
司德平. 解读量子围栏[J]. 现代物理知识, 2006, 18(05): 23-25. |
| [2] |
汤洁. 管窥物理学中的聚焦现象[J]. 现代物理知识, 2006, 18(05): 14-16. |
| [3] |
李茸侠. 纳米科学和技术[J]. 现代物理知识, 2001, 13(05): 35-37. |
| [4] |
厉光烈,李龙. 诺贝尔物理学奖百年回顾[J]. 现代物理知识, 2001, 13(04): 3-8. |
| [5] |
尹世忠,赵喜梅. 扫描探针显微术与纳米科技[J]. 现代物理知识, 2001, 13(04): 26-27. |
| [6] |
罗乐,刘东,廖本强. 扫描隧道显微镜和原子力显微镜[J]. 现代物理知识, 2001, 13(01): 25-26. |
| [7] |
周小明, 胡跃辉. 扫描隧道显微镜[J]. 现代物理知识, 2000, 12(04): 33-35. |
| [8] |
刘喜斌. 单一电子隧穿振荡及其应用[J]. 现代物理知识, 2000, 12(01): 20-22. |
| [9] |
胡晓明. 扫描探针显微镜的基础知识[J]. 现代物理知识, 1997, 9(02): 27-34. |
| [10] |
王大文,白春礼. STM在微加工中的应用[J]. 现代物理知识, 1992, 4(01): 12-14. |
| [11] |
陈梦真. 微光刻技术的发展[J]. 现代物理知识, 1989, 1(05): 21-22. |
|
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