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| 摘要 时代的列车飞速地向文明社会驶去.20年前,我们不可思议的彩电、冰箱、录相机等家用电器现在已进入了家家户户,微型计算机已被广泛应用于工业、农业、科研和管理.随着半导体技术的出现,庞大得象楼房似的计算机被缩小到可放在办公桌上,笨重的电子管收音机变形为掌上之物……,这一切都要归功于微电子器件,而微电子器件的生产则与微光刻技术密切相关.让我们一起来看看微光刻技术吧！一、器件和电路发展对科学技术发展的要求微电子技术发展的显著特点是器件几何尺寸日趋微细化,达到亚微米或毫微米量级. |
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| 关键词： 微光刻技术
x线
亚微米应用
光刻胶
电子束光刻
光源
邻近效应
离子束光刻
微细化
器件结构
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| Abstract：
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| Key words： |
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收稿日期: 1988-06-15;
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引用本文: |
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$author.xingMing_EN. [J]. Modern Physics, 1989, 1(05): 21-22.
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