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| 摘要 美国国家标准和技术研究所(NIST)专家研制成一种专门的程序保障系统,它能查明超纯材料和合金中存在的极少量杂质。该所提出的程序包分析了利用光栅扫描电子显微镜收集的资料,这种显微镜的工作原理可归结为:对被研究样品辐射一电子束,随后记录反射的电子和二次电子,并且进行X光分析. |
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| 关键词： 超纯材料
扫描电子显微镜
美国国家标准
技术研究所
工作原理
二次电子
程序保障
新工艺
表面轮廓
杂质
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| Abstract：
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| Key words： |
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收稿日期: 2004-07-11;
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引用本文: |
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周道其. 分析超纯材料成分新工艺[J]. 现代物理知识, 2005, 17(02): 31-31.
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$author.xingMing_EN. [J]. Modern Physics, 2005, 17(02): 31-31.
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