|
|
| 摘要 低气压、低温放电方面的一个重要的最新进展是电子回旋共振(ECR)放电。这种技术首先是在核聚变研究中发展起来的。最初,它被用于磁镜实验装置产生和加热等离子体,后来,又被发展成为托卡马克、串级磁镜等聚变装置实验中进行等离子体加热的主要手段之一,即电子回旋共振加热(ECRH)。目前,这一高技术已被移植到各种低温等离子体应用之中,显示了蓬勃的生命力。电子回旋共振微波等离子体是指:当输入的微波频率ω等于电子回旋共振频率ωce时,微波能量可以共振耦合给电子,获得能量的电子电离中性气体,产生放电。电子回旋频率为ωce=eB/m,e和m为电子电荷及其质量,B是磁场强度。 |
|
| 关键词： ECR微波等离子体
电子回旋共振
微波ECR等离子体
材料科学
等离子体聚合
稳态磁场
离子能量
外延生长
共振加热
能量耦合
|
| Abstract：
|
| Key words： |
|
收稿日期: 2002-07-16;
|
|
引用本文: |
|
施昌勇. 电子回旋共振微波等离子体及其在材料科学中的应用[J]. 现代物理知识, 2003, 15(04): 35-38.
|
|
|
|
|
|
|
|
$author.xingMing_EN. [J]. Modern Physics, 2003, 15(04): 35-38.
|
| [1] |
张波. 低温等离子体对材料的表面改性[J]. 现代物理知识, 2006, 18(06): 37-40. |
| [2] |
李博文. 封底照片说明[J]. 现代物理知识, 2006, 18(03): 58-58. |
| [3] |
邢向英. 物理学前沿与高新技术[J]. 现代物理知识, 2002, 14(06): 39-40. |
| [4] |
易学华,冯硕. 纳米科学技术及纳米材料科学的发展趋势[J]. 现代物理知识, 2002, 14(03): 26-27. |
| [5] |
张士华,郑治祥,汤文明. 波对生物组织的作用和机理[J]. 现代物理知识, 2002, 14(02): 22-24. |
| [6] |
赵志祥. 反应堆上的热中子散射研究展望[J]. 现代物理知识, 2000, 12(06): 16-17. |
| [7] |
胡辉. 新材料发展趋势[J]. 现代物理知识, 2000, 12(01): 18-18. |
| [8] |
杜先智, 许有霞. 近代陶瓷的现状与未来[J]. 现代物理知识, 1998, 10(05): 24-26. |
| [9] |
郭奕玲. C-60的发现[J]. 现代物理知识, 1998, 10(04): 38-41. |
| [10] |
刘之景. 等离子体聚合简介[J]. 现代物理知识, 1998, 10(04): 9-10. |
| [11] |
王德武. CCD X-射线探测器和同步辐射[J]. 现代物理知识, 1997, 9(01): 16-18. |
| [12] |
王德武. 新的研究领域——红外同步辐射科学[J]. 现代物理知识, 1996, 8(02): 19-21. |
| [13] |
李振中. 兰州重离子加速器[J]. 现代物理知识, 1994, 6(06): 2-2. |
| [14] |
朱政. “超硬”材料及其研究现状[J]. 现代物理知识, 1994, 6(04): 30-34. |
| [15] |
清明. 今日中国物理[J]. 现代物理知识, 1993, 5(05): 39-39. |
|
|
|
